FS-H系列的特点

小型・轻量・低成本化

通过提高泵的冲程速度（MAX240次/分钟注），实现了产品的小型化、轻量化以及低成本化。

注：击球次数因机型而异。

无污染设计

接液部位全部采用了氟树脂材料。泵的外周部分也进行了氟树脂涂层处理，整体设计确保没有金属部件暴露在外。此外，由于采用了轴密封装置，因此颗粒物的产生量进一步减少。

宽泛的液温范围·高压喷射

所处理的液体的温度范围为5至180℃，其出口压力可达0.45MPa。它不仅可以用于清洗工艺和CMP工艺中，还可应用于药剂输送工艺中。

近接开关方式

采用内置在泵体内的接近开关来控制电磁阀开闭的传感器驱动方式。同时，还标配了泄漏传感器。

简单操作

通过连接专用控制器，可以轻松实现对输出量的控制与管理。

规格

注：当供给空气压力为0.3〜0.5MPa时，转速为MAX180r/min。
• MAX输出量是针对20℃的清水条件下的性能数据。

泵控制器 FDC-1

• 通过连接电空调节器（可选），可以精确控制泵的出口流量，因此即便因过滤器堵塞等原因导致出口负荷发生变化，仍能保持稳定的循环与过滤效果。 • 可以监测流量、往复次数以及总运行次数。 • 具有泄漏警报、泵运行故障警报等各类警报功能，同时还能输出相关信号。

空气驱动隔膜泵FS支持连接简便的“纳米链接系统”。

新的药液管道连接技术

“纳米链接系统（Nano Link System，简称：纳米链接）”是一种极为简单的药液输送装置，只需将密封圈夹在中间并加以固定即可。其基本组成部分仅有密封圈、纳米链接主体以及固定夹这三种。该系统具备****的安全性，同时还能有效节省空间。

简单连接：只需夹在天花板之间即可。 安全性：得益于纳米链接结构，可实现稳定的密封性能 尺寸：英寸与毫米统一 节省空间：通过直接连接大幅减少管材使用量

适用机型：FS-15/30/60/80、FW-20/40/80、PDA-20/40/80WB