静电夹具是一种利用电能来吸附物体的装置。与通过机械方式抓住物体的机械夹具，或是依靠吸力来固定物体的真空夹具相比，静电夹具的优点在于“可以在真空环境中使用”，并且“不会损坏被夹持的物体”。正因如此，静电夹具被广泛用于半导体等超精密设备的制造过程中。

静电夹盘的原理

当晶圆被放置在静电夹盘上时，若在电极上施加电压，晶圆中的正离子和负离子就会分离——正离子会移动到电极的负极，而负离子则移动到电极的正极。这样一来，静电夹盘与晶圆之间就会产生强大的库仑力，从而使晶圆被吸附在静电夹盘上。这就是静电夹盘的原理。

内置加热器的静电夹具结构

内置加热器的静电夹具所面临的挑战

由于半导体晶圆的主流尺寸为300mm，因此为了能够均匀地为晶圆提供热量，加热器的设计就显得非常重要。作为加热器材料的金属箔的发热量呈上升趋势，为了获得所需的发热量，就必须增加电阻值，这就使得铜箔的截面面积以及电路设计变得更加复杂。此外，由于还需要考虑与用于固定的陶瓷板之间的配合关系，因此几乎不可能一次设计就完成所有要求，必须通过反复进行细致的设计调整、制造以及验证才能达到理想效果。

优点

• 作为一家专注于少量多品种产品的蚀刻加工制造商，UPT公司建立了灵活高效的开发与生产体系。能够及时应对各种细微的设计变更，共同打造令客户满意的产品设计。

• 也可用于450毫米晶圆。

• 如果您提供以聚酰亚胺（PI）作为涂层材料的铜箔，UPT公司可对其进行蚀刻加工。他们拥有完善的品质控制体系，可确保对所有产品进行彻底检测。

静电夹具用加热器产品概述

要点①

无需模具的蚀刻加工是尺寸精度也为板厚比的±20%

金属箔加热器是通过先进的技术制造的，该技术能够将经过高质量控制的金属箔的变形程度降低，因此不会产生任何杂质或瑕疵。其加工精度可达±20%，属于高精度产品。此外，由于在加工过程中不需要专用模具，所以这种工艺非常适合进行试切测试。

要点②

也适用于大型加热器

本公司能够处理尺寸为不超过600mm×900mm的工件进行蚀刻加工，因此该技术也适用于450mm尺寸的晶圆加热器。当然，对于300mm尺寸的晶圆，UPT也有丰富的加工经验，且具备很高的生产效率。

要点③

先进的检测体系

配备先进人工智能技术的图像检测设备，已开始在集团旗下的各生产工厂中得到应用。这类设备的缺陷检测能力正在不断提升，从而有助于提高产品合格率并提升产品质量，进而构建起完善的品质保障体系。

静电夹具用加热器规格